花岗岩基座搭配直线电机与雷尼绍编码器，实现亚微米级定位——业内最高精度的CTS解决方案。
花岗岩底座提供极致尺寸稳定性
直线电机+雷尼绍编码器，亚微米级定位
尺寸误差 < 3/10000，精密可重复
全场域实时Z轴焦点补偿
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | CTS1518G |
| 最大框架尺寸 | 1500x1800 mm |
| 最小框架尺寸 | 400x400 mm |
| 曝光尺寸 | 1400x1700 mm |
| 设备尺寸 (宽x深x高) | 3940x2000x1800 mm |
| 设备重量 | 2000 kg |
| 成像系统 | DMD DLP数字成像技术 |
| 感光胶厚度 (EOM) | 10 - 900 um（指定SBQ乳剂，含网版） |
| 曝光时间 | 120 - 240 秒/平方米（@ #350黄色网版） |
| 图像分辨率 | 1270 / 2540 / 5080 / 12700 DPI（PDF矢量） |
| 加网线数量 | 最高 133 - 200 LPI（200 LPI @ 2540 DPI） |
| 对焦方式 | 动态自动对焦 |
| 文件格式 | 1-bit TIFF, Gerber, PDF矢量 |
| 激光类型 | UV激光，波长 405 +/- 5 nm |
| 激光功率 | 20W / 25W / 30W（可选） |
| 网框厚度 | 25 - 40 mm（可定制） |
| 定位方式 | M&R Tri-loc / ROQ pin / MHM pin |
| 工作环境 | 黄光室；无尘等级: 100000；温度：22±2°C；相对湿度：40-70%（不结露） |
| 电源 | 单相220V，50/60 Hz，4 kW |
| 压缩空气 | 0.5 MPa |
