3D玻璃盖板

3D玻璃盖板

移植半导体光刻工艺到3D玻璃的图像转移,一个颠覆性的工艺革命,使得我们的客户提高十倍的生产效率和降低制造成本


ML-300是基于数字微镜阵列(DMD)装置的激光直接成像设备;在图案形成过程中,是通过计算机将图形转换成机器数据,并传输到数字微镜阵列(DMD),然后直接将图形投影到3D曲面玻璃盖板上,从而完成曝光。


ML-300,采用的是日本日亚高功率375nm激光光源,长寿命、低功耗,图像解析度高;配合高精度的直线电机,直接在3D曲面玻璃盖板进行高精度曝光,为客户带来高分辨率,高效率及高良率的产品,曝光分辨率达到12700dpi,稳定的冷却系统,确保设备内部保持22℃的恒温状态,保障了设备的稳定。成功地将集成电路用的微细工艺“负性光刻胶”工艺制造技术,运用在3D曲面玻璃盖板生产上。此工艺制造技术,将提升3D曲面玻璃盖板生产一次性良率,可高达90%以上,图案更精细,色彩还原度更佳。有效改善原传统丝印良率低、返工率高、线宽粗等弊端。


工艺流程




工艺对比

3D 盖板应用传统工艺与新工艺对比分析表



设备概述


3D平板清洗机

3D玻璃清洗机是玻璃在进入喷涂加工艺前工序对玻璃表面进行清洁、干燥处理的专用设备。
玻璃清洗机主要由传动系统、刷洗、清水冲洗、纯水冲洗、冷、热风干、电控系统等组成;设备结合洗剂的化学清洗能力及喷淋、毛刷的物理能力,共同完成玻璃的表面清洁。

3D光阻喷涂机(附带隧道炉热固)


喷涂工艺是通过喷枪或碟式雾化器,借助于压力,分散成均匀而微细的雾滴,施涂于被涂物表面的涂装方法。
HX-PT1000全自动3D曲面光阻喷涂机是一种适用于平面、2.5D 曲面、3D 曲面光阻喷涂的全自动化生产产线,其可喷涂各类流动性良好的液体,如油墨、保护油、光阻剂等;且还适用于纳米薄膜、光学薄膜等精细喷涂。

激光3D光刻机

ML-300 直接在 3D 曲面玻璃盖板进行高精度曝光,为客户带来高分辨率,高效率及高良率的产品,稳定的冷却系统,确保设备内部保持 22℃的恒温状态,保障了设备的稳定。成功地将集成电路用的微细工艺“负性光刻胶”工艺制造技术,运
用在 3D 曲面玻璃盖板生产上。
此工艺制造技术,将提升 3D 曲面玻璃盖板生产一次性良率,可高达 95%以上, 图案更精细,色彩还原度更佳。有效改善原传统丝印良率低、返工率高、线宽粗等弊端。

3D玻璃显影机

3D显影机主要由传动系统、药液喷淋、清水冲洗、纯水冲洗、冷、热风干、电控系统等组成。
机台为主要针对曝光完成的3D玻璃产品进行部分光阻剥离最终形成预留油墨图案专用的设备。

3D玻璃固烤炉

3D玻璃固化炉是通过热的传导、对流、辐射完成玻璃表层油墨的烘烤以最终的油墨属性稳定的隧道式机械设备。产品通过输送网带与电热元件之间产生相对运动,从而实现均匀烘烤和输送的工作。该烤炉可连续生产,生产效率高,节省人力,温度均匀,固烤品质稳定。


方案作用

该方案是用于生产3D盖板玻璃加工需求,适用于曲面盖板玻璃工艺。
附带相应配合设备,包括全线配备自动上/下料机、平板/等离子清洗机、自动喷涂机、遂道式表干线、直写式激光曝光机、显影/清洗机、遂道式固烤线或立式烤箱等辅助设备。


技术参数



联系方式:0512-66579101

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