ML-300 直接在 3D 曲面玻璃盖板进行高精度曝光，为客户带来高分辨率，高效率及高良率的产品，稳定的冷却系统，确保设备内部保持 22℃的恒温状态，保障了设备的稳定。成功地将集成电路用的微细工艺“负性光刻胶”工艺制造技术，运用在 3D 曲面玻璃盖板生产上。
此工艺制造技术，将提升 3D 曲面玻璃盖板生产一次性良率，可高达 95%以上， 图案更精细，色彩还原度更佳。有效改善原传统丝印良率低、返工率高、线宽粗等弊端。
| 产能 | 良率 | 兼容性 | 打样成品 |
|---|---|---|---|
| 1200 pcs/h | ≥95% | 高于 所有传统工艺 | 低于 所有传统工艺 |
移印（使用油墨上色）
光罩曝光机（使用油墨上色）
GIS-DLP（使用光阻上色）
GIS-DLP（使用光阻上色）
利用TI的图形发生器-数字微镜器件（DMD）芯片来产生数字图像, DMD由80万或200万个微镜组成，在DMD光斑范围内，能保证清晰和锐利的方形网点。这种最新的数字曝光系统已成为业界新标准。
工业级别375纳米耦合激光器，自主研发了激光成像系统，将375纳米耦合激光器激光利用率 从传统的30%提高至50%
DLP（Digital light processing）光学系统采用UV激光光源，输出的激光通过特种准直镜头实现对DMD的高均匀照明，最后通过投影镜头实现图形的输出。投影镜头为采用紫外特种光学材料的双远心镜头，具有低畸变，高透过率的特点。
±1μm运动控系统；运动误差实时补偿系统
该方案是用于生产3D盖板玻璃加工需求，适用于曲面盖板玻璃工艺；附带相应配合设备，包括全线配备自动上/下料机、平板/等离子清洗机、自动喷涂机、遂道式表干线、直写式激光曝光机、显影/清洗机、遂道式固烤线或立式烤箱等辅助设备；高分辨率，高生产率，高产量，更薄的厚度，更高的质量（外观）低成本；3D Glass LDI适用领域：可穿戴产品，汽车产品，手机产品，家用电器行业等
| 等离子清洗 | 3D光阻喷涂 | GIS曝光 | 显影 | 固化 | 成像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 玻璃表面清洁 | 喷涂控制单次膜厚 3μm±0.05 | 公差±0.05mm | 低残留显影， 控制显影效果 | 立体烤箱, 温度均衡控制 | 清洗后包装覆膜 发往客户端 |
| 规格参数 / 型号 | GL800系列 |
|---|---|
| 应用领域 | 家电曲面玻璃 |
| 外观尺寸mm(可订制 ) | 3200x2150x2310 |
| 曝光时间CT/pcs | 180-300s |
| 最大曝光面积(可订制 ) | 1600*1200mm |
| 可接受光刻胶厚度 | 1-15um (常规6um) |
| 额定电压 | 单相 220V/50HZ 接地良好 |
| 额定压缩空气压力 | 0.8 Mpa |
| 激光输出波长 | 375nm±10nm |
| 激光传输方式 | 光纤 |
| 感光材料 | 光刻胶 |
| 图像解析分辨率 | 12700dpi |
| 最大功率 | 4KW (Laser 6w ) / 4.5KW (Laser 9w ) |
| 输出激光功率 | 6W (±3%)/ 9W (±3%) |
| 输入文件格式 | Gerber274X |
| 曝光精度 | 50±5μ |
| 产品多层套位精度 | 60um |
| 油墨边缘锯齿 | ≤15μm |
| VA区长宽尺寸公差 | ±80um |
| 位置偏差 | ≤90um |
| 硬件重复精度 | ±25um |
*如有规格变更恕不另行通知
