陶瓷基板 LDI 激光直接成像曝光机
其应用于载板、软板、HDI板、多层板,精细的解析品质,优化的工艺,提供高效的陶瓷基板行业解决方案。
LDI激光直接成像曝光机有多种多种涨缩选择,所以具有更高对准能力,其拥有自动涨缩功能、固定涨缩功能和量
测涨缩功能。内层对准精度20μm,外层对准精度±10μm。
针对陶瓷基板的工艺特殊性,LDI曝光机可曝光300-400μm的膜厚,精细解析度,解析度可达1.2μm,最小线宽
15μm(依据配置)。LDI激光直接成像曝光机支持全台面曝光,线宽线距可达25/25μm.适合应用于内层、外层、陶
瓷基板的激光直接曝光。
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