迪盛微电子LDI激光直接曝光技术在显示屏行业的应用
迪盛微电子推出的LDI激光直接曝光技术在显示屏行业的应用非常广泛。LDI曝光机在显示屏玻璃盖板直接进行高精度曝光成像,为客户带来高分辨率,高效率及高良率的玻璃盖板产品,成功地将集成电路用的微细工艺“负性光刻胶”工艺制造技术,运用在 3D 曲面玻璃盖板生产上。
LDI曝光机不仅可以用于平面玻璃盖板的成像曝光,更可以用于3D曲面玻璃显示屏上的曝光,优势尤为突出。LDI数字无掩模激光直接曝光成像技术,颠覆传统。LDI激光直接曝光设备的特点有:产能可达 1200 pcs/h , 适用于2D/ 2.5D/ 3D/ 4D 玻璃盖板,解析度达1200 DPI,良率 95% 以上,无掩膜/光罩非接触式,柔性生产,快速切换产品。
迪盛微电子所推出的LDI激光直接曝光设备具备极高的工艺水平,可以在大幅面:1500*600*200曲面玻璃盖板曝光成像,尺寸精度可达±0.03,定位精度可达±0.08mm。